电子束辐照相对于金属渗透工艺的优势：

　　简化生产设备；

　　适用各种尺寸的晶园辐照和芯片辐照；

　　精确和可重复性生产；

　　退火可稳定的完全恢复；

　　室温操作；

　　无重金属污染；

　　根据生产工艺，能在不同工序中完成。

电子束辐照处理的电源管理器件：

　　快复二极管                               Fast recovery Diodes (Diodes);

　　晶闸管                                      Thyristors/Gate Turn-Off Thyristors(GTO);

　　电力整流器                               Power Rectifier;

　　双极结晶体管                           Bipolar Junction Transistors(BJT);

　　可控硅，硅可控整流器            Silicon Controlled Rectifiers(SCR) ;

　　IGBT                                         Insulated Gate Bipolar Transistors(IGBT) ;

　　MOSFET                                  Power MOSFET(their body diodes).